吴德馨
半导体器件和集成电路专家，中国科学院学部委员，中国科学院微电子所研究员， 吴德馨于1961年从清华大学无线电电子工程系毕业后分配至中国科学院半导体研究所工作；1986年调入中国科学院微电子中心工作；1991年至1997年担任中国科学院微电子中心第二届、第三届主任；1991年当选为中国科学院学部委员（院
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详细内容
基本介绍
吴德馨，女，1936年12月20日出生于河北乐亭县 ，半导体器件和集成电路专家，中国科学院学部委员，中国科学院微电子所研究员 。
吴德馨于1961年从清华大学无线电电子工程系毕业后分配至中国科学院半导体研究所工作；1986年调入中国科学院微电子中心工作；1991年至1997年担任中国科学院微电子中心第二届、第三届主任；1991年当选为中国科学院学部委员（院士）。1992年被中华人民共和国国家科学技术委员会聘为“深亚微米结构器件和介观物理”项目首席科学家。
曾任：
国家重大科技攻关课题负责人；
攀登计划首席科学家；
国家重大基础研究顾问专家组成员；
中科院学部主席团成员；
中国电子学会常务理事；
半导体与集成技术分会主任；
第九届、十届全国人大常委会委员和教科文卫委员会委员等职务。
研究方向：
半导体器件和集成电路
获奖及荣誉：
在国内率先提出了利用MEMS结构实现激光器和光纤的无源耦合。并研究成功工作速率达10Gbps的光发射模块。其中“先进的深亚微米工艺技术及新型器件”获2003年北京市科学技术一等奖。
独立自主开发成功全套0.8微米CMOS工艺技术。获1998年中科院科技进步一等奖和1999年国家科技进步二等奖。作为国家攀登计划首席科学家负责“深亚微米结构器件及介观物理项目研究。开展了12项课题的研究。为介观物理基础和新结构器件的进一步研究打下基础
作为工艺负责人研究成功N沟MOS 4K、16K动态随机存储器和成品率的提高。独创了检验接触孔质量的露点检测法。并推广到上海器件五厂。分别获得1980和1981年中科院科技成果一等奖两次。负责平面型高速开关管的研究，独立解决了提高开关速度的关键问题，并推广至上海器件五厂和109厂，为两弹一星采用的109计算机提供器件基础。获国家新产品一等奖。
2004年，获何梁何利技术科学奖。
人物经历
1936年12月20日，吴德馨出生于河北乐亭。
1961年，毕业于清华大学无线电电子工程系 ，毕业后分配至中国科学院半导体研究所工作。
1986年，调入新成立的中国科学院微电子中心（现中国科学院微电子研究所） 。
1986年—1989年，担任中国科学院微电子中心第一届副主任。
1991年—1997年，担任中国科学院微电子中心第二届、第三届主任 。
1991年，当选为中国科学院学部委员（院士） 。
1992年，被中华人民共和国国家科学技术委员会聘为“深亚微米结构器件和介观物理”项目首席科学家。
荣誉表彰
时间 荣誉表彰 授予单位
1991年 中国科学院学部委员（院士） 中华人民共和国国务院
1992年 全国“三八”红旗手中华全国妇女联合会
1992年 “九五”国家重大科技攻关先进个人
2004年 何梁何利基金科学与技术进步奖（技术科学奖） 何梁何利基金
社会任职
1998年3月—2003年3月
第九届全国人民代表大会常务委员会委员
2003年3月—2008年3月
第十届全国人民代表大会常务委员会委员
国家重大基础研究顾问专家组成员
中国科学院学部主席团成员
中国电子学会常务理事
中国电子学会半导体与集成技术分会主任

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院士专家 发布: 2025-09-18 更新: 2025-10-14 阅:

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